北京辉腾隆晟机电设备有限公司(莱宝授权代理),以下为您做莱宝检漏仪特点之介绍:
莱宝检漏仪更智能
多用通讯模式,方便远程操控与系统集成
北京辉腾隆晟机电设备有限公司(莱宝授权代理)是位于都北京;是家经营空泵,分子泵,空机组,负压空系统,进口空泵润滑油,空泵配件,空泵维修的授权经销商,主要经营的有leybold德国油封泵:双旋片泵trivac b/c系列,单旋片泵sogevac b|bi|fp系列;莱宝干式空泵:膜片泵divac系列,涡旋泵scrollvac系列,干式螺杆泵leyvac系列,干式螺杆泵screwline系列;罗茨泵:ruvac wa/ws 和ruvacwh系列;莱宝高空泵:莱宝油扩散泵系列、莱宝油增压泵系列、莱宝分子泵系列、莱宝低温泵系列;莱宝超高空泵:莱宝离子泵;莱宝检漏和空测量设备:phoenix4.0系列和phoenix l500系列空计和空控制器;莱宝阀门和附件;莱宝空泵润滑油:lvo130,lvo100,lvo108等空泵及提供莱宝空解决方案、空系统空产品。
空方案解决家,北京辉腾隆晟机电设备有限公司(莱宝授权代理商),以下为您详细介绍半导体使用涡轮分子泵介绍:
半导体工业使用涡轮分子泵
在半导体工业,涡轮分子泵用于以下应
用场合:
- 蚀刻
- 溅射
- 离子注入
- cvd
- 光刻
这些应用中,经常需要抽除性气
体。
需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分
子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀
刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现
象, 选用带温度控制的扩展附件在
mag 1500 c、mag 2000 c、mag
2800和mag 3200可以防止这种情况。
与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵
的优势在于气体流量较大时可以防止轴
承过热,能够有效地防止性介质对
磁悬浮轴承的损坏。
在电子显微镜和光刻设备中,低振动值
异常重要。为此,应使用磁悬浮分
子泵。
的前泵选用trivac系列的旋片
泵,可以配cs系统。
turbovac mag w 2200 c
镀膜系统领域使用的涡轮分子泵
光学和磁性介质存储、光学元件以及建
筑玻璃的镀膜,需要高空条件。这是
膜均匀、膜层附着在基底上的
方法。
空产生的方法对镀膜质量有重大影
响。通过将空室抽到10-6mbar(0.75 x
10-6torr)范围,从工艺室除去杂质气体
和水分子。如果是溅射镀膜,那么镀膜
工艺压强范围是10-3至10-2mbar(0.75 x
10-3至0.75 x10-2 torr),如是蒸发镀膜,
压强低于10-4 mbar(0.75 x 10-4 torr)。
涡轮分子泵满足客户对清洁空、操作
简单、设计紧凑和几乎无维护运行等方
面的所有要求。莱宝空分子泵系列涵
盖法兰直径从40mm至250mm
(1.57in.至9.84in.)的分子泵。每种应用
都可找到适合的产品,如光学镀膜、显
示器和建筑玻璃镀膜,数据存贮镀膜
(cd、dvd、硬盘)、工具的镀膜等。
科研应用
莱宝空所有型号涡轮分子泵都可以用
于研发领域。
高能
莱宝空泵维修|莱宝空泵配件|莱宝双空泵|莱宝高空分子泵|莱宝测量设备-空计、空规|莱宝单油泵保养|莱宝高空泵——扩散泵、离子泵、钛升华泵、|莱宝进口双油泵b款|莱宝罗茨泵|莱宝食品加工与包装泵|莱宝双旋片泵trivac b系列|lebold莱宝单旋片泵sogevac b/bf/fp系列|莱宝干泵涡旋泵scrollvac系列|莱宝干式螺杆泵leyvac系列|莱宝干式螺杆泵/机组dryvac系列|莱宝干式螺杆泵screwline系列|莱宝罗茨泵ruvacwa/ws和ruvac wh系列|莱宝高空泵 蒸汽流空泵:油增压泵ob系列|油扩散泵dip系列和leybolfet 系列|扩散泵节能控制器|莱宝分子泵 机械轴承分子泵turbovac系列、半磁悬浮分子泵turbovac /ix系列、磁悬浮分子泵magintegra系列和magdigital系列|莱宝低温泵和冷头:低温泵coolvac系列、低温泵头collvac power 系列|莱宝空测量与控制:系列空计和通用型空控制器vacvision|德国莱宝leybold 检漏仪phoenix l300 i和phoenix l500i |莱宝定制化空机组:空机组、空技术、智能控制、罗茨机组(ruta)、空系统、空计校准系统cs、高空系统pt/turbolab、实验室镀膜机univex|莱宝部件:备件,耗材和维修件,leybonol 空泵油和润滑剂、法兰、接头、空阀门leycon系列——
北京辉腾隆晟机电设备有限公司(莱宝授权代理商),以下为您做莱宝莱宝检漏仪应用的介绍:
莱宝检漏仪广泛应用在科研、新能源、镀膜、工业应用、分析仪器、平板显示
-/gbadgfb/-